2010.07.15

グローバルCOE「機械システム・イノベーション国際拠点」事務局

下記の通り、 平成22年度・MEMSとSIMULATION演習日程が決まりましたので、お知らせ致します。

【MEMS演習日程】
・8月30日（月）　概要説明/ANSYS 機械系演習室
集合時間  9：00
集合場所  工学部2号館1階機械系演習室

＊8月30日は大学院入試（TOEFL）が行われていますので、静粛にご注意ください。

・9月1日（水）  機械設計（夕方までに終了予定）
・9月2日（木）  Cadenceによるレイアウト設計/13号館一般電子工学実験室
・9月3日（金）  Cadenceによるレイアウト設計/13号館一般電子工学実験室
・9月6日（月）  クリーンルーム講習会（午前中を予定）

◆9月6日（月）以降、2グループに分かれて武田先端知ビルにて実習予定
【Aグループ】
・9月6日（月）  リソグラフィ ＋酸化膜エッチング（午後からを予定）
・9月7日（火）  Deep RIE＋ステルスダイシング＋リリース
・9月8日（水）  ワイヤボンディング
・9月9日（木）  特性測定
・9月10日（金）  特性測定

【Bグループ】
・9月8日（水）  リソグラフィ＋酸化膜エッチング（午後からを予定）
・9月9日（木）  Deep RIE＋ステルスダイシング＋リリース
・9月10日（金）  ワイヤボンディング
・9月13日（月）  特性測定
・9月14日（火）  特性測定

◆Aグループ、Bグループ共通
・9月17日（金）発表会
また、必要に応じて解析をそれぞれのチームで行う予定です。
（9月13日（月）～9月16日（木））

【SIMULATION演習日程】
・8月24日（火）  電子状態計算 (Electronic states simulation)
・8月25日（水）  電子状態計算 (Electronic states simulation)
・8月26日（木）  分子動力学計算 (Molecular dynamics simulation)
・8月27日（金）  分子動力学計算 (Molecular dynamics simulation)
・9月9日（木）  有限要素法計算 (Finite element simulation)
・9月10日（金）  有限要素法計算 (Finite element simulation)
・9月14日（火）  電子顕微鏡観察 (Electron microscopy observation)
・9月15日（水）  電子顕微鏡観察 (Electron microscopy observation)

＊詳細は別ファイル『GMSIシミュレーション電顕演習2010年度-0906版』でご確認下さい。

添付ファイル：GMSIシミュレーション電顕演習2010年度-0906版.pdf

◆注意事項
今後も集合場所や時間等の変更があり次第、ホームページを更新していきますので、ご確認頂きますようお願い致します。

ご不明な点がございましたら、榎本までご連絡頂きますよう、お願い致します。

連絡先：
グローバルCOE「機械システム・イノベーション国際拠点」事務局
榎本　有華
内線： 27437
E-mail： gmsi-office@mechasys.jp 又は yuka.enomoto@mechasys.jp