2009.04.01

工学部14号館 1F142講義室 （毎週火曜日：14:45-16:25）

■冬学期

目的：ナノ・マイクロ機械システムについて、精密機械工学と関連の深い「製造技術」、「光応用システム」、「光応用加工・計測」、「流体システム」に関連するトピックを取り上げ、基礎から具体的応用までをそれぞれ概説し、機械システムの微小化、精密化に関わる最先端の研究に触れるとともに、工学的知識の幅を広げることを目的とする。

講義項目：
「MEMS製造技術の基礎と応用」
（１）MEMSのための材料工学
（２）MEMS製造技術と実装技術
（３）マイクロナノ量産技術への展開

「光応用ナノ・マイクロ機械システム」　
（１）光MEMSとその要素技術
（２）光マイクロシステムのセンサへの応用
（３）光実装とパッケージング

「局在光エネルギーによるマイクロ加工，ナノ計測」
（１）光エネルギーの特性およびその局在形態
（２）局在光エネルギーのナノ計測への応用
（３）局在光エネルギーのマイクロ加工への応用

「マイクロ流体システムとその応用」
（１）マイクロ流体システムの基礎
（２）マイクロ流体システムの医療・バイオ分野への応用
（３）マイクロ流体システムの環境分野への応用

成績評価：レポートと出席を考慮して総合的に評価する。