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活動

高増教授，高橋准教授，精密工学会論文賞!

高増潔，高橋哲

2009年3月12日

精密工学会

精密工学会論文賞

精密工学会誌74巻5号（2008年5月号）に掲載された「変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究（第1報）－解像特性の理論的検討－」が受賞の対象。

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