本COEプロジェクトでは、工学部8号館626号室（72 m2）を確保し、プロジェクト参加メンバーが共同で利用するナノマイクロ計測加工センターとして位置づけ、平成15年度に下記のフェムト秒レーザー加工システム、マイクロスキャニングPIVシステム、X線分析顕微鏡、更に、平成17年度には、走査型電子顕微鏡を導入した。
　これらの共同利用設備は、本21COEプロジェクトの研究の強力な推進力として、ほぼ終日稼働しており、関連専攻の複数の研究室に利用されている。